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国际刊号:ISSN 1007-1865 / 国内刊号:CN 44-1238/TQ

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    光致抗蚀剂成膜树脂的研究进展

    第一作者:王全勇 亚博体育官方登陆时间:2020-01-13 15:57:41.0 打印本页


    光致抗蚀剂是微电子技术领域的关键基础材料,成膜树脂是其重要组成部分,本文概述了光致抗蚀剂成膜树脂的国内外研究状况。